单室磁控溅射镀膜机

1.改造方案

采用3台MB200D分子增压泵+1台2XZ-15旋片泵，取代磁控溅射镀膜设备（Φ1000×1200）的3台1,200L/s复合分子泵+3台2XZ-15旋片泵+1台ZJ-300罗茨泵。

或者取代1台K-500扩散泵+1台ZJ-300罗茨泵+1台2XZ-70泵旋片泵。

2.经济效益

1）节能50-80%，年节电3-6万度。

2）一年节省的电费可收回设备费用。

3）消除粗抽和镀膜阶段的油蒸汽污染，提高镀膜产品的质量。

4）磁控镀膜阶段：抽速增加至传统设备的1.2

-2倍，活性气体分压强显著降低。

5）粗抽泵可供多套设备共用。

3. 特别关注：

1）粗抽阶段：

 粗抽泵将镀膜室的压强抽得太低，基片会受油蒸汽污染。应抽至约50Pa。

2）精抽阶段：

■精抽目的是降低镀膜室的放气率Qd , Qd = Po×Se ，本底压强Po不是精抽的判据！

■放气率相同，有效抽Se越大，Po越低。Se越小，Po越高。

■不同抽速的泵,  只要将放气率降至相同，则精抽效果相同。分子增压泵的Se为扩散泵的60%， 本底压强Po应为扩散泵的1.6倍。

■降低放气率的措施：提高烘烤温度，增加烘烤时间，与真空度（即精抽泵的抽速）关系不大。本例中，精抽抽速降低，因粗抽时间缩短，烘烤时间有所增加，精抽质量反而提高。

2）溅射镀膜阶段：

■镀膜阶段主要真空质量指标：活性气体分压强Pi , Pi = Qd /Sc, Sc为镀膜阶段的有效抽速。故放气率相同时，有效抽速Sc越大，活性气体分压强Pi越低，镀膜真空环境越好。

■磁控放电压强约0.5Pa。扩散泵稳定工作压强约8×10-2Pa，分子泵0.5 Pa的抽速明显下降，故均需采用节流技术。

■节流使真空泵的有效抽速显著降低。扩散泵节流后的抽速仅为标称抽速1/6,  负面影响显著。节流是一种无奈之举。

■分子增压泵的最高工作压强达100Pa，不需要节流，抽速全部利用。因此，溅射镀膜时, 一台分子增压泵可以取代抽速6倍的扩散泵，抽速1.5倍的传统分子泵。